Titanium Rotating Lub tog raj kheej Target

Nws yog ib feem siv nyob rau hauv lub cev vapor deposition txheej txheem (PVD), uas yog ib tug txheej txheem rau depositing nyias films ntawm cov ntaub ntawv mus rau ib tug substrate. Lub hom phiaj ntawm titanium raj yog ua los ntawm cov titanium ntshiab thiab zoo li lub tog raj kheej uas tig thaum lub sij hawm PVD txheej txheem.

Cov txheej txheem PVD ua haujlwm los ntawm kev siv hluav taws xob arc lossis magnetron sputtering kom vaporize cov khoom siv, qhov no, titanium, thiab tso nws ua ib zaj duab xis nyias mus rau hauv lub substrate. Lub rotating lub tog raj kheej lub hom phiaj tso cai rau ib tug ntau uniform deposition ntawm titanium zaj duab xis mus rau lub substrate.

Cov txiaj ntsig ntawm kev siv hauv PVD cov txheej txheem suav nrog kev ua kom huv ntawm cov yeeb yaj kiab tso tawm, siab tso nyiaj ntau, thiab txhim kho zaj duab xis adhesion. Lub hom phiaj titanium rotary rau magnetron sputtering yog ua los ntawm cov khoom zoo titanium thiab yog tsim los tiv taus qhov kub thiab txias thiab txhua yam kev ntxhov siab thaum lub sij hawm PVD txheej txheem.

Specification Taw Qhia

Hom Qhov Loj:

Peb qhov zoo dua

Lub hom phiaj titanium peb muab muaj cov nplej me me, kev faib tawm tsis sib xws, siab purity, ob peb suav nrog, thiab siab purity. TiN zaj duab xis deposited yog siv nyob rau hauv kho kom zoo nkauj, cuab yeej, semiconductor thiab lwm yam teb, nrog zoo adhesion, uniform txheej thiab kaj xim.

--Purity

Txhawm rau tsim kom muaj peev xwm titanium sputtering lub hom phiaj, purity yog ib qho ntawm nws cov cim tseem ceeb ntawm kev ua haujlwm. Lub purity ntawm lub hom phiaj titanium muaj kev cuam tshuam zoo rau kev ua haujlwm ntawm cov txheej txheem sputter. Qhov siab dua qhov purity ntawm lub hom phiaj titanium, qhov tsis muaj impurity cov ntsiab lus nyob rau hauv sputtered titanium zaj duab xis, ua rau PVD txheej txheej zoo dua, nrog rau kev tiv thaiv corrosion zoo dua thiab hluav taws xob thiab kho qhov muag. Txawm li cas los xij, hauv kev siv tswv yim, titanium lub hom phiaj rau lub hom phiaj sib txawv muaj cov kev cai sib txawv rau purity. Cov khoom siv lub hom phiaj yog siv los ua cathode qhov chaw hauv sputtering, thiab impurity ntsiab thiab porosity inclusions nyob rau hauv cov khoom yog lub ntsiab pa phem qhov chaw ntawm deposited zaj duab xis. Cov porosity inclusions yuav raug tshem tawm thaum lub sij hawm tsis muaj kev puas tsuaj ntawm cov ingot, thiab cov porosity inclusions uas tsis raug tshem tawm yuav ua rau paug thaum lub sij hawm sputtering txheej txheem, yog li cuam tshuam rau qhov zoo ntawm cov zaj duab xis; Cov ntsiab lus ntawm impurity ntsiab tsuas tuaj yeem tshwm sim hauv cov txiaj ntsig ntawm kev ntsuam xyuas tag nrho cov ntsiab lus, qhov qis dua tag nrho cov ntsiab lus impurity, siab dua qhov purity ntawm lub hom phiaj titanium.

--Qhov ceev

Qhov ntom kuj yog ib qho tseem ceeb hauv kev ntsuas qhov zoo ntawm titanium lub hom phiaj. Txhawm rau txo qhov porosity hauv lub hom phiaj khoom thiab txhim kho kev ua haujlwm ntawm cov yeeb yaj kiab sputtered, lub hom phiaj feem ntau yuav tsum muaj qhov ntom ntom dua.

Qhov ceev ntawm lub hom phiaj cuam tshuam tsis yog tsuas yog tus nqi sputtering xwb, tab sis kuj yog cov khoom siv hluav taws xob thiab kho qhov muag ntawm cov yeeb yaj kiab. Qhov siab dua lub hom phiaj ntom, qhov ua tau zoo ntawm cov yeeb yaj kiab. Tsis tas li ntawd, nce qhov ceev thiab lub zog ntawm lub hom phiaj tso cai rau lub hom phiaj kom tiv taus thermal kev nyuaj siab thaum lub sij hawm sputtering. Qhov ntom kuj yog ib qho ntawm cov cim qhia ua haujlwm tseem ceeb ntawm lub hom phiaj.

--Particle loj thiab nws qhov kev faib tawm

Feem ntau, sputtering lub hom phiaj yog cov qauv polycrystalline nrog cov nplej loj ntawm qhov kev txiav txim ntawm ob peb micrometers mus rau ob peb millimeters. Rau tib lub hom phiaj, qhov me me ntawm qhov loj me ntawm lub hom phiaj, qhov nrawm nrawm ntawm lub hom phiaj; Nyob rau hauv tas li ntawd, lub hom phiaj nrog me me particle loj sib txawv yuav sputter ib zaj duab xis nrog ib tug ntau uniform thickness. Txoj kev tshawb nrhiav pom tias yog tias cov qoob loo loj ntawm lub hom phiaj titanium tswj tau qis dua 100 μm, thiab qhov hloov pauv ntawm cov nplej loj yog khaws cia li ntawm 20%, qhov zoo ntawm cov zaj duab xis sputtered tuaj yeem txhim kho zoo heev.

--crystalographic orientation

Titanium muaj ib tug kaw-packed hexagonal qauv. Txij li thaum lub atoms ntawm lub hom phiaj titanium tau yooj yim sputtered raws lub hexagonal ze-packed kev taw qhia ntawm lub atoms thaum lub sij hawm sputtering, thiaj li yuav ua tau ib tug ntau dua sputtering tus nqi, lub siv lead ua qauv ntawm lub hom phiaj yuav hloov los ntawm kev hloov txoj kev. kom nce tus nqi sputtering. Lub crystallographic kev taw qhia ntawm lub hom phiaj titanium kuj muaj kev cuam tshuam zoo rau lub thickness uniformity ntawm sputtered zaj duab xis.

--Structural uniformity

Cov qauv kev tsis sib xws kuj yog ib qho ntawm cov cim tseem ceeb los tshuaj xyuas qhov zoo ntawm lub hom phiaj. Rau lub hom phiaj titanium, tsis yog tsuas yog lub dav hlau sputtering ntawm lub hom phiaj, tab sis kuj tseem muaj cov kev taw qhia ib txwm muaj, kev taw qhia cov nplej thiab qhov nruab nrab ntawm cov nplej loj uniformity ntawm lub dav hlau sputtering. Tsuas yog nyob rau hauv txoj kev no, lub hom phiaj titanium tuaj yeem tau txais cov yeeb yaj kiab titanium nrog cov tuab tuab, txhim khu kev qha zoo thiab zoo li cov nplej loj tib lub sijhawm thaum nws lub neej ua haujlwm.

Specification Case

Kev sib hloov ceev: Lub hom phiaj yuav tsum muaj peev xwm tig ntawm qhov nrawm mus txog ntau txhiab RPM kom ua tiav qhov kev tso nyiaj ntau dua thiab txuas ntxiv lub hom phiaj lub neej.

Txias: Lub hom phiaj ntawm titanium raj yuav tsum yog dej-txias kom dissipate lub tshav kub generated thaum lub sij hawm deposition txheej txheem thiab tiv thaiv kev puas tsuaj rau lub hom phiaj.
Backing phaj: Ib qho titanium thaub qab phaj feem ntau yog siv los txhawb lub tog raj kheej tig lub hom phiaj thiab muab hluav taws xob tiv tauj.
Txoj kev Bonding: Lub hom phiaj feem ntau yog sib koom ua ke rau cov phaj nraub qaum uas siv cov diffusion bonding los yog lwm yam kev sib koom ua ke los ua kom muaj kev thermal thiab hluav taws xob zoo.
Purity: Lub titanium teb lub hom phiaj rau magnetron sputtering yuav tsum muaj qib siab ntawm purity kom txo tau cov impurities hauv cov yeeb yaj kiab tso thiab ua kom zoo ib yam. Qib impurity yuav tsum tsawg dua 1000 qhov chaw ib lab (ppm) rau feem ntau cov ntawv thov.

Zuag qhia tag nrho, cov lus qhia tshwj xeeb ntawm titanium rotating lub tog raj kheej lub hom phiaj yuav sib txawv nyob ntawm qhov kev thov tshwj xeeb, thiab lub hom phiaj tuaj yeem hloov kho kom tau raws li cov kev xav tau no.

Cim npe nrov: Titanium Rotary Hom phiaj rau magnetron sputtering, titanium raj phiaj